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半导体设备
半导体器件物理（第三版） 科学出版社 孟庆巨
奇妙的材料：改变世界的12种化学物质和它们背后的科学传奇（黄金、丝绸、半导体……换个角度看待身边的物质世界） 时代华文 佐藤健太郎
彩:图解入门:半导体器件缺陷与失效分析技术精讲 机械工业出版社 上田修, 山本秀和